Hurtig udglødningsovn vedtager avanceret mikrocomputerkontrolsystem og PID-lukket-sløjfe-temperaturkontrol, som kan opnå høj temperaturkontrolnøjagtighed og temperaturensartethed og kan udstyres med vakuumkammer eller flerkanalsgas i henhold til brugerproceskravene.
Ovnen med hurtig udglødning bruger en infrarød halogenlampe som varmekilde til hurtigt at opvarme wafers eller materialer til 300 grader -1200 grader gennem en hurtigere opvarmningshastighed, og derved eliminere nogle defekter ved wafers eller materialer og forbedre produktets ydeevne.
Hurtig udglødningsovn (chipvarmebehandlingsudstyr) er meget udbredt i produktionen af IC-wafere, LED-wafers, MEMS, sammensatte halvledere, strømenheder og andre chipprodukter, såvel som ohmsk kontakt hurtig legering, ionimplantationsglødning, oxidvækst, stress aflastning i fortætning, fortætning og andre processer. Hurtig varmebehandling bruges til at forbedre krystalstrukturen og fotoelektriske egenskaber med højt teknisk indeks, kompleks proces og stærk specificitet.
Udskiftning af hardware til hurtig udglødningsovn
1, udskiftning af varmelampen: varmelampen overskrider levetiden eller er ikke lys, skal udskiftes. Varmelampens levetid er 3000 timer, og dens levetid vil blive reduceret ved høje temperaturer.
2, udskiftning af vakuumpumpeolie: under brug skal du observere vakuumoliemåleren en gang i kvartalet. Når oliemåleren viser, at oliestanden er mindre end 1/3, skal du tilføje vakuumpumpeolien til mere end halvdelen af oliemåleren.
3, termoelement udskiftning: når temperaturen er unormal eller beskadiget, skal termoelementet udskiftes. Termoelementets normale levetid er 3 måneder, og dets levetid forkortes af miljømæssige faktorer.
4. Udskift O-ringen: Når O-ringens overflade åbenlyst er beskadiget eller ikke kan forsegles, skal O-ringen udskiftes. Dens levetid påvirkes af eksterne kraft- og temperaturfaktorer.